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偵測晶圓搬運傳送異常警告
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案例名稱 -偵測晶圓搬運傳送異常警告
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應用說明 -應用說明 Application
半導體黃光設備以機械手臂作晶圓 load/unload 傳送，在機械手臂上固定座導入我司代理 TEXOL 振動感測器，
可以在手臂傳送不穩時，及早發出警報提醒人員注意，以避免晶圓傳送掉落造成破片的現象。
特色優點 Unique Features
● 邊緣頻譜分析與特徵萃取，精準分析各種失效模式的能量，預測更準確。
● 內建常見失效模式特徵，大幅降低導入的技術門檻與日後維運之分析人力成本。
● 內建轉速識別與階次換算功能，變頻設備監測效果更精準。
● 創新性的極邊緣化運算設計，大幅降低系統建置成本。
● 以精簡有效的數位特徵資訊，取代巨量類比訊號傳輸，大幅降低訊號干擾風險。
● 三軸向量測，失效模式不漏失。
● 5,000 Hz 高頻寬偵測範圍，失效模式不漏失。
● 25,600 S/s 高速取樣，不漏失任何失效前兆。
● 出廠校準，附校準報告，量測精確保證。
● 支援硬體腳位或軟體定義觸發，可在設備執行特定動作時進行分析監測，預測更準確。
● 自動回報感測器運作狀態，無需擔心感測器失效。
● 支援遠端更新微調失效模式的定義，預測更準確。
● DC 12-24V 用電，配電簡單安全，省去日後更換電池的困擾。
● 有線 RS485 介面與 Modbus 協議傳輸，整合成本低廉。
● IP65 防水防塵等級，適合戶外環境使用。
應用機種 Product Model
* TEXOL 振動感測器
