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電漿蝕刻 RST-10000系列應用案例
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案例名稱 -電漿蝕刻 RST-10000系列應用案例
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應用說明 -
應用說明 Application
電漿蝕刻是一種使用電漿從基板上去除材料的製程,往往
需要很大的超高功率然後控制單元變成高密度脈衝輸出,
由中和碁電代理明緯RST-10000—36三相高瓦數電源滿足客戶需求
特色優點 Unique Features
● 三相輸入：3線/ △196~305VAC 或 4線 / Y340~530VAC
● 內建主動式功率因數矯正功能(active PFC)
● 高工作效率達91%
● 藉由內建並聯功能，高可輸出20000W
● 輸出電壓及恆流值可編程功能
● 5年保固期
應用機種 Product Model
* Meanwell 明緯 RST-10000—36
