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真空濺鍍高瓦數應用
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案例名稱 -真空濺鍍高瓦數應用
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應用說明 -應用說明 Application
在半導體產業製程中，真空電鍍可以說是重要的一環，需要高能量的離子束來撞擊待被濺鍍表面。
本次案例系採用明緯 RST-7K5 大瓦數電源來作穩定高能量粒子的來源。
特色優點 Unique Features
* 高功率5000W / 10000W 單組輸出電源供應器
* 三相輸入：3線/ △196~305VAC 或 4線 / Y340~530VAC
* 內建主動式功率因數矯正功能(active PFC)
* 高工作效率達91%
* 藉由內建並聯功能，高可輸出20000W
* 輸出電壓及恆流值可編程功能
* 5年保固期
應用機種 Product Model
* 明緯 MEAN WELL RST-7K5
